欧姆接触电阻率的精确测量方法

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第2卷第 2 5期 20 0 5年 5月

固体电子学研究与进展 R S A C& P O R S S EE R H R G E SOF S E

VO . 5. 1 2 NO. 2 M a y. 2 005

欧姆接触电阻率的精确测量方法 曹春海 (京电子器件研究所,京, 1 0 )南南 20 1 6 2 0— 51 0 30—2收稿, 0 3 1—5收改稿 2 0— 10

摘要:析了一般测量接触电阻率的 TLM模型以及“电阻”正模型的缺点,出了一种新的接触电阻分端修提率的测试方法。此方法模型精确,规测试条件下容易得到误差小于 1的相关测试量的值,接触电阻率的测常 使 试误差小于 5。 关键词:输线模型;触电阻率;量方法传接测中图分类号: TN3 5 9 0.3文献标识码: A文章编号: 0 03 1 ( 0 5 0— 7—4 1 0—8 9 2 0 ) 2 2 6 0

A n Ac ur e M e s e e e ho c at a ur m nt M t d of

Spe ii hm - o a t Re it nc c fc O c nt c s s a e

CAO u h i Ch n a ( n ig Elc o i De i sI si t, Na jn et nc vc n t u e Na jn r e t n ig.2 0 1。 H N ) 1 0 C 6

Ab t a t S m e dia V n a e o p cfc o m— o t c e i t n e m e s r m e t b u u l sr c: o s d a t g s f s e ii h c n a t r s s a c aue n y s a t a s is o i e m o e( ) a d n r s s a c o r c i n m o e we e d s u s d t r u h r n m s i n In d TI M n e d— e it n e c r e to d 1 r ic s e h o g s rc t e r tc I n l s s M e n h l t it h o e ia a a y e . a w i e。 a e n w me h d o s e ii t o f r p c f o c hm— o t c r s s a c c n a t e it n e m e s r me t aue n wa s h me o t Th n w m o e i s c e d u. e e d I S c u a e U n e u u I a c r

t . d r s a m e s r me t aue n c n i i n,i i a y t e h c u a y o o d to s t s e s o g t t e a c r c f me s r d d t ih n 1 . S h c u a y o h a u e a a w t i o t e a c r c ft e s e ii o m— o t c e it n e me s r me t m a e wih n 5 . p cf h c c n a tr ss a c aue n y b t i Ke y wor ds:TL M; s e i i hm— ont t r s s a e; m e s e e e ho p c fc o c ac e i t nc a ur m nt m t d

EEA CC: 255 F 0

于“电阻”量误差较大,而使“电阻”正端测因端修 士 丘

法 L的测量误差变大。G. R e e]出的三电 6 K. e v s6 L提

阻等效模型不是很准确,般而言,难保证得到一很目前常用传输模型法 ( ) 圆形传输 TIM[和。线模型法 ( TI )测量欧姆接触电阻率。当电 C M 极接触层内外的方块电阻不相等时,带来测量误将

高精度的测量结果。本文从传输线理论出发,到得 方程的解析解,析提出了一种新的精确测量等效分

模型,计了接触电阻率的一种新测试方法,方设此法测试简便,据精确可靠。数

差。采用经验性的修正,论上缺乏根据。在低方理 块电阻 R的材料上,接触电阻率较低时, 当由

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欧姆接触电阻率的精确测量方法

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